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ネオセラ社のレーザアブレーションシステムは、高性能パーツを取り付けた非常にすばらしいシステムです。
「コンパクト」「シンプル」「イージー」をコンセプトに考えられた製品で、非常に高性能でありながらその小ささや使いやすさは、他社にはないものです。
また、シンプルゆえにメンテナンス性も優れています。
さらにアップグレードを常に考慮した設計を行っていますので、長期にわたってご使用いただけます。イオンビーム源、スパッタ源、各種モニタリング装置の取り付けも可能となっております。
・アメリカ、日本だけでなく多くの国への納入実績
・操作性、アップグレードを追及した設計
・システム側からレーザを制御
・オイルフリーの排気系
・ガス流量はターボポンプの回転数によりコントロール
・真空引きはきわめて短時間
■ロングライフヒーター
■ローテーションヒーター
ロケットエンジンに使用されている特殊な合金により製作されているこのヒーターは非常に高性能かつ長寿命で、
その利用はPLDだけにとどまらず多くのスパッタ装置にも利用されています。
・真空中、酸素中で950℃連続使用可能
・最高1050℃まで昇温可能
・950℃まで10分で昇温可能
・面内温度均一性 ±5℃ (at 950℃)
・温度安定性 ±1℃ (at 950℃)
・ヒータサイズ 1"、2"、3"、4"、6"
・ヘッドのみ、フランジセット、コントローラーセットを用意
・熱伝対(タイプK)取り付け済み・その他ご指定により改造可能
ロングライフヒーターを回転させることにより、膜の均一性を上げることが、可能になりました。
輻射熱タイプになっており、サセプターホルダーを基板取り付けタイプに変更すると基板のセットが簡単に行えます。
弊社デモルームにて、材料お持ち込みによるサンプル成膜を行っておりますので、
是非ご利用ください。
またネオセラ社製スタンダードシステムも常時展示しております。
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