薄膜熱物性測定装置 | 日本カンタム・デザイン株式会社

: 薄膜熱物性測定装置 NanoTR／PicoTR は、厚さ数10nm～数10μmの金属薄膜や酸化物薄膜の熱物性値を高精度に測定する世界初の薄膜熱物性測定装置です。
基板上に形成された薄膜試料をパルスレーザーで瞬間的に加熱し、薄膜内部への熱拡散による表面温度の低下速度あるいは裏面温度の上昇速度を測定することにより（パルス光加熱サーモリフレクタンス法）、薄膜の膜厚方向の熱拡散率を求めることができます。

◆ 薄膜の熱物性値を測定
	薄膜の熱拡散率、熱伝導率および多層膜の薄膜間の界面熱抵抗を求めることが可能です。デバイスの高度な熱設計の実現が期待されます。

◆ 測定時間が、30秒以内
	NanoTR は、信号処理を高速化し、測定時間の短縮化に成功しました。30秒以内で測定ができます。

◆ 任意の基板で測定可能
	NanoTR は、裏面加熱／表面測温方式（RF方式）と表面加熱／表面測温方式（FF方式）、両方のサーモリフレクタンス法を搭載しているので、基板の種類を問わず測定することが可能です。



◆ 絶対測定による高精度な測定
	NanoTR／PicoTR は、厚さ数10nm～数10?mの薄膜それ自体を加熱し、測定する絶対測定をとっているので、基板の影響なく、薄膜の熱物性値を定量的に測定することができます。

◆ 国家標準へのトレーサビリティ
	熱拡散時間標準薄膜（RM1301-a）にて本装置を校正することにより、国家標準にトレーサブルになっています。



	株式会社ピコサームは産総研ベンチャー開発センターのスタートアップ開発戦略タスクフォースに採択され、2008年に設立された産総研発のベンチャー企業です。