Lyncee tec社製 4D光学プロファイラーデジタルホログラフィック顕微鏡 REFLECTION DHM®

製品情報

Lyncee tec社製 4D光学プロファイラーデジタルホログラフィック顕微鏡 REFLECTION DHM®

ワンショット3D測定マイクロスコープ（DHM®）は、その特徴的なテクノロジーによって、3D表面解析の従来技術であるレーザ顕微鏡や白色干渉計およびデジタルマイクロスコープでは難しいとされていた、ナノレベルのダイナミクスの高速3Dイメージング測定を実現し、新しい表面分析のアプリケーションとソリューションを提供します。

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ワンショット3D測定マイクロスコープ DHM-R 概要

光の位相差情報をホログラフィの方式により取得することで、数μmの急峻な段差もスキャンなしで瞬時に測定し、3Dイメージや表面粗さ情報表示します。
Z分解能はナノレベルを実現しながら、除振台は不要となっており、高さ方向の走査を必要とせず、広いエリアを高速で測定し、3Dイメージを表示しながらスクリーニングが可能です。
ラボのみならず製造や品質管理の現場でも活用できます。

ホログラフィ方式による高速データ処理を実現
ナノレベルの高さ分解能
液中やガラス窓越しなど様々な測定環境に対応可能
簡単セットアップ、優れた操作性
キャリブレーション不要
スティッチング機能で広範囲を高速測定（別途、自動ステージが必要）
高周波数で駆動するMEMSに対応（別途、ストロボスコピックオプションが必要）

DHMラインナップ

DHM装置は、その高い取得速度と使いやすさにより、迅速な日常検査、自動化された工業的品質管理、および特に動的観測のための革新的な研究開発アプリケーションを可能にします。波長の数と組み合わせにより、3つの構成があります。
● R-1000シリーズ：シングルレーザー光源
● R-2100シリーズ：デュアルレーザー光源
● R-2200シリーズ：3レーザー光源

DHMの応用

REFLECTION DHM^®は、オプションのストロボスコピックモジュール（オプション）と、MEMS解析および反射率解析用のポスト解析ソフトウェアと互換性があります。

各機種は、DHM一式の他、ヘッドのみの購入も可能で、他の構造体や生産ラインに取り付けることができます。

DHMは、幅広いオプションの電動ステージと互換性があり、カスタマイズされたシステムのご提供も可能です。

すべての Reflection DHM ® モデルは、同一のパフォーマンスで単一波長測定モードで動作します。
	R1000	R2100	R2200
構成	1 つのレーザー光源	2 つのレーザー光源	3 つのレーザー光源
特異性	単一波長	短い合成波長	短くて長い合成波長
測定モード	単一波長	単一波長と二重波長	単一波長と二重波長
精度　※1	0.15nm	0.15/3.0nm ※2	0.15 / 3.0nm / 20nm ※2
垂直解像度　※3	0.30nm	0.30/6.0nm ※2	0.30 / 6.0nm / 40nm ※2
再現性　※4	0.01nm	0.01/0.1nm ※2	0.01 / 0.1nm / 0.5nm ※2
垂直測定範囲 (スキャンなし)	連続構造の場合は最大 200 μm	連続構造の場合は最大 200 μm	連続構造の場合は最大 200 μm
鋭いエッジのある段差の最大高　※5	333nmまで	2.1μmまで	12μmまで
※1　30 回の測定にわたって 1 ピクセルの時間標準偏差を取得することで実証 ※2　単一波長マッピングの有無 ※3　精度の 2 倍として定義 ※4　SiC 参照ミラーでの 30 回の再現性測定の 1 シグマ Rq 値を取得することによって実証 ※5　レーザー光源と動作波長によって異なります

MEMSマイクロフォン

メンブレンとバックプレートの振動測定

振幅振動マップ @ 1kHz

MEMSマイクロホンは、1つまたは2つの穴のあいたバックプレートの間で振動するダイアフラムによって構成されます。
各ダイアフラムのトポグラフィーと振動モードの測定は困難です。

– ダイアフラムはバックプレートを介して測定されます。
　高い横分解能が必要

– 薄い1umのバックプレート・シリコン膜は、可視光や近赤外光に対して透明である。
　この場合、UVレーザー光源が必要となる。

◆測定内容

– ダイアフラム径：100μm
– 倍率：20倍
– 横分解能：0.5μm
– 励起周波数：1kHz
– 装置 DHM R-1000

◆振動測定

振幅振動マップは、ストロボユニットによりマイクロホンをスピーカーとして1kHzで加振したときの振動板の振動を示しています。
両振動板の第1振動モードを表しています。

全視野のボード線図

マイクロホン背面板の振動振幅マップを、100～500 kHzの周波数について4 kHzステップで表示します。

主共振モードだけでなく、スプリアスモードや競合モードも可視化できます。

このアニメーションは1次元ボードグラフを一般化したもので、一般的にはサンプルの1点で測定されます。ここでは、全視野を測定しています。

メンブレンとバックプレートの振動
以下の 4 つの測定値は、メインメンブレンの振動測定とバックプレートの振動測定を完全に区別していることを示しています。 – 2 つの最初の振幅振動マップは、44 kHz と 104 kHz で測定されます。振動振幅はバックプレートの穴の内側で測定されます。バックプレートのグリッドはほとんど振動を示しません。 – 3 番目と 4 番目の振幅振動マップは、362 kHz と 540 kHz で測定されます。バックプレートの穴の内側で測定された振動振幅はゼロです。バックプレートの振動はグリッド上で測定されます。

バックプレートの穴を通して 44 kHz で測定された MEMS マイクメンブレンの振動	バックプレートの穴を通して104kHzで測定された MEMS マイクメンブレンの振動


MEMS マイクのバックプレートの振動を 362 kHz で測定。バックプレートの穴を通して、膜が静止しているかどうかを測定できます。	MEMS マイクのバックプレートの振動を 540 kHz で測定。バックプレートの穴を通して、膜が静止しているかどうかを測定できます。

慣性センサー

MEMS加速度計とジャイロスコープ

14.4kHzにおけるジャイロスコープ振動マップ

私たちの日常生活で使用される最も一般的な MEMS 慣性デバイスは、MEMS 加速度計とジャイロスコープです。それらは、ほぼすべてのモバイル電子機器および自動車業界で見られます。このようなデバイスは通常、プルーフマス、振動ホイール、コームドライブ、または面内および面外の両方で動作するその他の感知部品などの可動部品によって構成されます。それらの特性評価には、変位における究極の分解能、高周波数、および広い測定範囲の両方が必要です。

レーザードップラー振動計 (LDV) が事前に定義されたグリッド/ドット上での測定のみを行うのとは異なり、DHM® はイメージング領域全体にわたる各ピクセルの即時かつ同時測定を提供し、サブミクロンの横方向解像度まで振動モード形状を取得する可能性を提供します。 DHM® は、特にジャイロスコープのような複雑な形状に対して理想的な特性評価機器となります。

<データ概要>

　データ提供元：上海交通大学（中国）
　使用システム：DHM-R2000
　使用モード：ストロボモード
　デバイス：ジャイロスコープ
　対物レンズ：2.5× high NA