ワンショット3D測定マイクロスコープ DHM(R)

ワンショット3D測定マイクロスコープ(DHM®)は、、その特徴的なテクノロジーによって、3D表面解析の従来技術であるレーザ顕微鏡や白色干渉計およびデジタルマイクロスコープでは難しいとされていた、ナノレベルのダイナミクスの高速3Dイメージング測定を実現し、新しい表面分析のアプリケーションとソリューションを提供します。

ワンショット3D測定マイクロスコープ DHM(R) 特徴

光の位相差情報をホログラフィの方式により取得することで、数μmの急峻な段差もスキャンなしで瞬時に測定。 3Dイメージや表面粗さ情報表示します。Z分解能はナノレベルを実現しながら、除振台は不要。高さ方向の走査を必要とせず、広いエリアを高速で測定したり、3Dイメージを表示しながらスクリーニングが可能。 ラボのみならず製造や品質管理の現場でも活用できます。


  • ホログラフィ方式による高速データ処理を実現
  • ナノレベルの高さ分解能
  • 液中やガラス窓越しなど様々な測定環境に対応可能
  • 簡単セットアップ、優れた操作性
  • キャリブレーション不要
  • スティッチング機能で広範囲を高速測定(別途、自動ステージが必要)
  • 高周波数で駆動するMEMSに対応(別途、ストロボスコピックオプションが必要)

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