多機能コンパクトAFM – CoreAFM

CoreAFMは、あらゆる測定が可能かつ簡便な操作を両立させるために、必要なコア要素をコンパクトに集約しました。

 ・高分解能、低ノイズな新コントローラとヘッドスキャナ
 ・液中・大気中のあらゆるモードを使用可能
 ・コンパクトな筐体にアクティブ防振機構を内蔵
 ・ステージ交換だけで電気化学測定や環境制御などに対応

多機能コンパクトAFM - CoreAFM特徴


最新のフレクシャスキャナ、XYZサンプルステージ、カメラ、アクティブ防振が一体となったコンパクトなAFMシステムです。このAFMシステムは低ノイズのCoreAFMヘッドを32bit FPGAを搭載したコントローラによる24ビットのDAC/ADCのフルデジタル処理で制御されます。また、測定のセットアップからソフトウェアに至るまで、AFMがはじめての方でも簡単に操作できるデザインです。


カンチレバーやホルダーの扱いが簡単


カンチレバーホルダーは、AFMヘッドユニットから簡単に着脱でき、ホルダーだけを安全に清掃したり洗浄することができます。また、AFMチップはホルダの上に載せるだけで位置があうAlignment grooveを採用していますので、毎回μmレベルで同じ位置に置くことができます。同じ種類のカンチレバーであればレーザー合わせも不要です。


さまざまな測定に対応できるサンプルホルダー


CoreAFMにはスキャナ、防振台、トップビュー/サイドビューカメラが内蔵されており、それ以外に必要なものはありません。そのうえで測定の拡張性が可能なデザインになっていますので、サンプルステージだけを交換して温度調整/電気化学測定/CAFM/加熱などさまざまな測定が可能です。また、これらのサンプルステージ部分のデザインコンセプトは一貫しているので、新しい測定方法に必要なステージのカスタマイズにも対応できます。


2つの視点からカンチレバーの位置合わせができる光学系


ヘッドユニット上部にカメラが内蔵されており、2つの光学系を切り替えて観察できます。上方からのトップビュー、側方からのサイドビューの光学像が大気中・液中で得られます。カンチレバーとサンプルを容易に観察することができるので、すぐに目的の位置に合わせることができます。


Spike Guard - 突発的なノイズ対策に



多機能コンパクトAFM - CoreAFM

ヘッドユニット

XYスキャナ フレクシャXYスキャナ (100 µm x 100 µm)、クローズドループ
Zスキャナ ピエゾスキャナ (12 µm), クローズドループ
光てこ用レーザー レーザーダイオード, XXX nm
カンチレバーホルダ ヘッドユニットから完全に着脱可能なホルダ。Alignment grooveに対応(溝無しホルダーも選択可能)
検出器ノイズ (RMS) 60pm (typical) 100pm (max)
センサーノイズ (Z, RMS) 180pm (typical) 250 pm(max)
ダイナミックノイズ (Z, RMS) 40pm (typical) 70pm (max)
スタティックノイズ (Z, RMS) 100pm (typical) 200pm (max)

コントローラー

スキャナ制御 24-bit ADC/DAC 200 kHz
デジタルロックイン (2x) 16-bit ADC/DAC 20MHz
ユーザーIN/OUT、励振IN 24-bit ADC/DAC 5MHz, 10V
デジタル出力 2bit line/frame sync out 5V, TTL
サーマルチューニング 10Hz – 2MHz
FPGA 32bit FPGA, 256MB インターフェース:USB 2.0

サンプルステージ

ホルダー サンプルや測定モードに合わせて交換可能なホルダー
光学系 液中・大気中のサンプルのトップビュー/サイドビューを切替可能。 *1
オプションで下方から透過/蛍光像の取得も可能。
カメラ 5MPカラーCCD
光学照明 ソフトウェアから調光可能な白色LED
サンプルステージ 手動XYマイクロメーターステージ(20mm x 20mm)、自動Zモーターステージ(5mm) *2
サンプルアプローチ Zステージによる自動アプローチ(連続モーターモードとピエゾ+モーターステップモード)
サンプルサイズ サンプルサイズ

標準付属品

防振台 アクティブ防振台を筐体内に内蔵
測定モード コンタクトモード、ダイナミックモード、位相イメージングモード、液中イメージング、フォースモジュレーション、標準MFM、標準フォースカーブ、標準リソグラフィー
モードキット*4 Static forceキット、Dynamic forceキット、Phase imagingキット
サンプルホルダー 標準サンプルホルダー

その他仕様

システム要件 Windows 7以降 (32bit/64tbit両対応)、USB 2.0端子 x 2以上
重量 / 寸法 30.5 kg / 350x395x242mm
電源 100-240VAC, 50/60Hz, 50W

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