超高分解能電子ビーム用レジスト CSAR62
『超高解像、最新型ポジティブ電子ビーム用レジスト』
ドイツALLRESIST製 CSAR62は最高クラスのコントラスト性能と感度の最新電子線用レジストです。
高プラズマエッチング耐性、10nm以上の高解像性能、さらに1ミクロンを超える厚膜にも対応する4種の濃度バリエーションが選択可能です。
特徴 超高分解能電子ビーム用レジスト CSAR62 特徴
CSAR62（AR-P6200）主な特徴
- スピンキャスト膜厚 0.05～1.6μm（6000～1000rpm）
- 高感度
- 10nm以上の最高解像度と非常に高いコントラスト
- 高プロセス安定性、高プラズマエッチング耐性
- リフトオフ構造制作が容易
- アンチケミカルエンハンサ採用
- 安全なアニソール溶媒を採用
- 優れたコストパフォーマンス
関連製品
メールフォームでの
お問い合わせはこちら
お問い合わせはこちら
電話・メールでも承っております。
こちらの製品に関するお問い合わせ、資料請求、
見積依頼は
お電話、メールでも承っております。
お気軽にご相談ください。
営業時間：9:00～17:00
（土日祝・年末年始・会社休業日を除く）