
超高分解能電子ビーム用レジスト CSAR62
『超高解像、最新型ポジティブ電子ビーム用レジスト』
ドイツALLRESIST製 CSAR62は最高クラスのコントラスト性能と感度の最新電子線用レジストです。
高プラズマエッチング耐性、10nm以上の高解像性能、さらに1ミクロンを超える厚膜にも対応する4種の濃度バリエーションが選択可能です。
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