マスクを使わない描画装置では最安値! 少量のパターン試作が手早く可能!

小型LED直接描画装置 マイクロライターML family 特徴

価格約1100万で、フォトリソではなく、マスクレスで少量のパターンの試作を手早く可能にするMWBaby。 パターン作製時、毎回必要なマスク作製の手間を省きます。この装置は英国ケンブリッジ大学のキャヴェンディッシュ研究所のラッセル教授が開発した卓上小型(最少モデル、底部面積70cm×60cm)で、手軽に高精度で高速(ラスタスキャン方式)にパターン試作を可能にするマスクレスなLED直接描画装置です。フォトレジストに直接LEDで描画することが可能で、既に世界市場には35台以上が納品済です。

小型LED直接描画装置 マイクロライターML family 仕様

MWBaby MWBaby+ MW3
・描画分解能 1μm 1μm and 5μm 0.6μm, 1μm, 2μm, 5μm
・描画範囲 149x149mm 149x149mm 195x195mm
・最大ウエハーサイズ 155x155mm 155x155mm 230x230mm
・対物レンズ ×10,(×4 デジタルズーム) ×3,×10(×4 デジタルズーム) ×3,×5,×10,×20(×4 デジタルズーム)
・描画波長 405nm LED 405nm LED デュアルライトソース
①385nm LED,
②405nm(OP)
・描画速度 ・20mm2/分@1μm分解能 ・20mm2/分@1μm分解能
・120mm2/分@5μm分解能
・25mm2/分@0.6μm分解能
・50mm2/分@1μm分解能
・100mm2/分@2μm分解能
・180mm2/分@5μm分解能
・ポジショナー分解能(X,Y) 100nm 100nm 20nm
・光学表面プロファイラー分解能(Z) 300nm 100nm
・重ね合せ精度 ±1μm (3σ) ±1μm (3σ) ±0.5μm (3σ)
・ソフトウエアフォーマット CIF, BMP, TIFF CIF, BMP, TIFF CIF, BMP, TIFF
描画速度は典型的なウエハーに描画される平均値です。小さなウエハーに描画する場合は遅くなります。

小型LED直接描画装置 マイクロライターML family オプション

小型LED直接描画装置 マイクロライターML family アプリケーション

メーカーサイト

Durham Magneto Optics
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