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ピエゾ抵抗自己検知型カンチレバー (SCL)

SCL-Sensor tech社のピエゾ抵抗自己検知型(PRS, Piezo Resistive Self-sensing)カンチレバーは、カンチレバーの反りを電気的に直接測定することができるマイクロカンチレバーです。

反りを直接検出できるので、リードアウトの回路は単純化でき、光てこ方式と比べて空間的な制限を受けないという特長があります。そのため、SEMやTEMなどさまざまな装置との組み合わせが可能です。QD Microscopy社のAFSEM nanoを使えば、既存のSEM内ですぐに使用することができます。

また、先端にプローブの無いティップレスカンチレバーは、カンチレバー型の各種センサーとして利用でき、板ばねの共振を利用した力学測定・流体センサ・への応用が可能です。

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ピエゾ抵抗自己検知型カンチレバー 特徴


イメージング用Siプローブカンチレバー

カンチレバー先端にSi製のプローブを有する、AFM用の標準PRSカンチレバーシリーズです。



センシング用ティップレスカンチレバー (TL)

プローブの無いティップレスカンチレバーです。力学測定、ガス/流体の分析、磁気トルク計などさまざまな計測に応用することができます。



イメージング用先鋭化ダイアモンドローブカンチレバー (SCD)

カンチレバー先端に先鋭化した単結晶ダイアモンド(SCD)プローブを有するPRSカンチレバーシリーズです。



参考文献

  • Semenenko, B. and Esquinazi, P.: Diamagnetism of Bulk Graphite Revised. Magnetochemistry 2018, 4, 52. [LINK]
  • D. Yablon et al.: Cross-platform integration of AFM with SEM: Offering the best of both worlds. Microscopy and Analysis 31(2): p14-18 (2017) [PDF]
  • Maja Dukic et al.:Piezoresistive AFM cantilevers surpassing standard optical beam deflection in low noise topography imaging. Scientific Reports 2015, 5:16393 [PDF]
  • Anastasios Badarlis et al.: Measurement and Evaluation of the Gas Density and Viscosity of Pure Gases and Mixtures Using a Micro-Cantilever Beam. Sensors, 15(9), 24318-24342 (2015) [LINK]
  • G.E. Fantner et al.: Use of self-actuating and self-sensing cantilevers for imaging biological samples in fluid. Nanotechnology 20 (2009) 434003  [PDF]
  • G.E. Fantner et al., DMCMN: In Depth Characterization and Control of AFM Cantilevers With Integrated Sensing and Actuation. Journal of Dynamic Systems, Measurement, and Control NOVEMBER 2009, Vol. 131 / 061104-1 [LINK]

メーカーサイト

http://www.sclsensortech.com/5.0.html

ピエゾ抵抗自己検知型カンチレバー 仕様

型番 カンチレバー プローブ
共振周波数 kHz ばね定数 N/m 寸法 LW μm 変位感度 μV/nm *2 力感度 nN/μV *2 先端径 nm 高さ μm 材質
標準Siプローブ
PRSA-L300- F50- Si-PCB 30 – 65 1 – 15 300±5 x 110±3 1 – 2 0.5 – 56 < 15 4 – 6 Si
PRSA-L300- F80- Si-PCB 65 – 95 15 – 56 300±5 x 110±3 1 – 2 0.5 – 56 < 15 4 – 6 Si
PRS- L70-F900- Si-PCB 500 – 1300 35 – 400 70 – 85, 30±1 3 < 15 4 – 7 Si
単結晶ダイアモンドプローブ
PRSA-L300- F50-SCD-PCB 30 – 65 1 – 15 300±5 x 110±3 1 – 2 0.5 – 56 < 15 12 – 16 SCD
PRS -L100-F500-SCD-PCB 250 – 750 12 – 330 110±5 x 48±2 1 – 3 4 – 330 < 15 12 – 16 SCD
ティップレス
PRS-L450- F30- TL-PCB 14 – 48 0.5 – 24 450±5 x 100±3 1 – 2 0.24 – 24
PRSA-L300- F50- TL-PCB 30 – 65 1 – 15 300±5 x 110±3 1 – 2 0.5 – 56
PRSA-L300- F80- TL-PCB 65 – 95 15 – 56 300±5 x 110±3 1 – 2 0.5 – 56
PRSA-L100-F400- TL-PCB 250 – 550 14 – 170 100±5 x 48±3 1 – 3 4 – 170

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