LFMキャリブレーター

Tridec TechnologyのLateral Force Microscopy Calibrator (LFMC)は、AFMプローブとサンプル間の摩擦力を高精度MEMS力学センサによってダイレクトに測定します。この手法により、AFMのカンチレバーのLateralシグナルと摩擦力を直接対応づける補正が可能となります。

USBで接続するコンパクトな装置で、Nanosurf AFMで得られたLFMの .nidファイルを読み込ませることで自動補正させることが可能です。

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測定原理

AFMのプローブをMEMS力センサのビームの表面をスライドさせます(Fig. 1)。作用・反作用の法則により、AFMカンチレバーの水平方向の反り（ねじれ）は、ビームにかかる力と等しくなります。この時の力が高精度のMEMS力学マイクロセンサ(MFS)によって測定され、ねじれと水平力を高い精度で対応させることができます。

注目すべき点は、この方法にはカンチレバーの幅や長さ、プローブの高さといった形状の情報が不要であるということです。それらの誤差を含む（あるいは確認不可能な）パラメータを使用せずにLateralシグナルから力へ変換できるため、正確な補正が可能となるわけです。

参考文献

C. Dziekonski et al., Method for lateral force calibration in atomic force microscope using MEMS microforce sensor, Ultramicroscopy 182 (2017) 1-9 ( Open access / PDF available)
Jarzabek D.M., Kaufmann A.N., Schift H., Rymuza Z., Jung T.A., Elastic modulus and fracture strength evaluation on the nanoscale by scanning force microscope experiments, NANOTECHNOLOGY, Vol.25, pp.1-9, 2014

LFCC性能
水平力係数の正確性	< 3%
水平力分解能	5 nN at 10Hz
製品仕様
寸法	62 x 53 x 10.4 mm
重量	40g
インターフェース	USB
電源	5V (USBパワー)
PC環境
OS	Windows 10, Windows 8, Windows 7 SP3
Java version	Java 8 update 151以降
容量	200MB以上の空きスペース
RAM	4GB以上