neaSCOPEは、「FT-IR」と「原子間力顕微鏡（AFM）」を融合した装置です。

FT-IRは分子振動に対して高い感度を持つため実用的に様々な化学物質の同定が可能である一方で、測定の際に大量のサンプル量が必要であったり、スキャンエリアが大きく、微小領域の測定が難しいという特徴があります。

原子間力顕微鏡（AFM）は数nmスケールの非常に高い空間分解能でイメージングできます。また、表面形状や弾性率、フォースカーブ、表面電位といった機械的な物性情報を得ることも可能ですが、化学的な情報を得ることができません。

neaSCOPEでは、FT-IRとAFMの技術を組み合わせることで空間分解能10nmのスケールで、化学的・形態的構造解析を実現しました。

こちらは市販されているSRAM半導体デバイスを、IRとテラヘルツ波による反射光でのイメージング、そして
AFMによるケルビンプローブフォース顕微鏡(KPFM)、電気力顕微鏡 (EFM)などを組み合わせた測定した事例です。