材料系
バイオ系
プロセス系
金属-酸化物-半導体トランジスタのナノスケール IRイメージング
市販SRAMデバイスの10nm 相関ナノイメージング
表面磁性の可視化 MFM
表面電位(仕事関数)の測定 KPFM(KFM)
導電性の測定 コンダクティブAFM(C-AFM)
半導体表面の非破壊検査