金属-酸化物-半導体トランジスタのナノスケール IRイメージング
neaSCOPEは、「FT-IR」と「原子間力顕微鏡(AFM)」を融合した装置です。
原子間力顕微鏡(AFM)を用いた半導体表面の測定結果です。
Nanosurf社では大型のシリコンウエハであっても非破壊で表面の粗さパラメータ(ラフネス)の計測が可能です。
詳細は下記アプリケーションノートをご参照ください。
Nanosurf社製 原子間力顕微鏡 AFM
このアプリケーションの詳細情報をご覧になりたい方は、以下のリンクよりアプリケーションノートをダウンロードください。
Nanosurf Surface roughness measurement アプリケーションノート(英文)
neaSCOPEは、「FT-IR」と「原子間力顕微鏡(AFM)」を融合した装置です。
neaSCOPEは、「FT-IR」と「原子間力顕微鏡(AFM)」を融合した装置です。
原子間力顕微鏡(AFM)を用いた磁気力(MFM)の測定結果です。
原子間力顕微鏡(AFM)を用いたMoS2(二硫化モリブデン)の表面電位差の測定結果です。
原子間力顕微鏡(AFM)を用いたサンプル導電性の測定結果です。
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