原子間力走査型電子顕微鏡 AFSEM

SEMとSPM(AFM,C-AFM,MFM等)をin-situで測定でき、試料を取り出すことなく、同一環境下の中での測定が可能となります。お手持ちのSEMやFIBに取付けての使用が可能です。

AFSEM 原子間力走査型電子顕微鏡の特徴

1. SEMとAFMのin-situ測定が可能
試料の装置間の移動が不要のため、同一環境下での測定が可能です。

2. 多様な測定モード
AFM、C-AFM、MFMなどに対応しております。

3. セルフセンシング・カンチレバー
ピエゾ素子を内蔵したカンチレバーを使用しております。
カンチレバーの交換後の調整は不要です。

4. お手持ちのSEM / FIBに取り付け可能です。
※卓上型SEMなど、一部の機種には、取付できない場合がございます。対応機種については、お問い合わせください。

AFSEM 原子間力走査型電子顕微鏡の仕様

測定モード AFM(コンタクトモード、ノンコンタクトモード)、C-AFM、MFM など
スキャナー 寸法  :110mm (L) × 77mm (W) × 41mm (H)
走査範囲:x,y:35μm × 35μm、z:5µm
ポジショニングステージ 可動範囲:x=±4mm、y=±4mm、z=25mm
粗分解能:x,y,z:50nm(ステップサイズ)

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AFSEM 原子間力走査型電子顕微鏡のアプリケーション

2Dマテリアル(グラフェンなど)

3D-topography(Z軸:深さ方向の評価)

磁石材料の表面観測(SEM-MFM)

半導体など製造工程の品質管理

表面の粗さ測定

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