標準のFlex-Mountのためのシンプルで経済的な設計です。
シンプルですが、このXYZステージは非常に堅牢・安定で、さらに市販AFMのステージよりもかなり大きなサンプルの測定が可能となっています。マニュアルXYステージは着脱可能で、プラットフォーム全体を自由に活用できます。

巨大なガラスサンプルの品質管理のために設計されました。このカスタムステージで稼働するすべての駆動部分がサンプルより下に配置され、サンプルがパーティクルなどに汚染されない設計となっています。
AFMスキャンヘッドを固定する位置を2箇所にする工夫により、サンプルのアクセスできる一方で、ステージのフットプリントは小さくコンパクトに抑えられています。

大きな凹面や凸面のAFMイメージングでは、スキャンヘッドの回転が必要となります。カンチレバーがどの表面位置に対しても同じ角度でアプローチできるようにするためです。
このシステムでは、サンプルステージの360度の手動回転、およびモーターで電動化されたXZΘステージにより、すべての位置で表面を正しく評価できます。

精密アライメントステージ：2つのゴニオメーターステージと3つの高感度力センサーが組み込まれており、スキャンヘッドに対してサンプル面を0.005度以内で自動で合わせることができます。ナノインプリントリソグラフィーを可能にするため、湿度制御やカスタムカンチレバーホルダーが開発されました。

LEE, I.-Ning, et al. JoVE (Journal of Visualized Experiments), 2018, Nr.136, S.e56967.
WANG, Shuai, et al. RSC Advances, 2015, 5. Jg., Nr. 75, S. 61402-61409

このマイクロメーターステージは、サンプル表面を倒立型顕微鏡で観察できます。なおかつ、そのステージを上下逆さまにしてそのままAFMによるイメージングができます。 逆さまにしたときにも、倒立型顕微鏡で観察したガラスのレンズ位置と同じ位置でAFM測定ができます。再位置決め精度は10μｍ以内です。

6極のコンタクトのある特殊なAFMチップを使えるカスタムカンチレバーホルダーです。 F Richheimer et al., Sensors 2018, 18(7), 2049; https://doi.org/10.3390/s18072049

この電動XYZステージは、大型のサンプルにアクセスするためのもので、その可動域は長辺では1.5mを越えています。 エアベアリング機構を採用することによって、高い負荷・高い精度・低いノイズレベルをすべて兼ね備えています。 パッシブ防振を採用し、エンコーダを省略し、コストを抑えた設計となっています。