コンパクト原子間力顕微鏡 NaioAFM
大学や専門学校におけるナノテクノロジー教育や、研究開発または品質管理の現場で、表面形状を短時間に簡潔に測定したいユーザーに最適な装置です。
物性測定
表面解析
バイオ＆ライフサイエンス
光学クライオスタット/低温物性
リソグラフィー/単結晶製造
ヘリウムリカバリー
産業分野
AFM測定を行う必要があるが、サンプルが大きく特別な取り扱いが必要だったり、従来の技術や方法とは異なる実験が必要ではありませんか？
私たちはお客様のニーズを真摯に受け止め、お客様と一緒に解決策を考えます。
当社の装置開発チームは、お客様との密接な協力と継続的な対話の中で、お客様の正確なニーズに合わせたシステムを設計・構築します。
お客様のニーズを最初にお聞かせいただければ、プロジェクトの詳細についてご連絡いたします。
■キーワード
✓シリコンウェハー
✓大型サンプル
✓光学レンズ
✓自動ステージ
✓特殊ステージ
標準のFlex-Mountのためのシンプルで経済的な設計です。
シンプルですが、このXYZステージは非常に堅牢・安定で、さらに市販AFMのステージよりもかなり大きなサンプルの測定が可能となっています。マニュアルXYステージは着脱可能で、プラットフォーム全体を自由に活用できます。
巨大なガラスサンプルの品質管理のために設計されました。このカスタムステージで稼働するすべての駆動部分がサンプルより下に配置され、サンプルがパーティクルなどに汚染されない設計となっています。
AFMスキャンヘッドを固定する位置を2箇所にする工夫により、サンプルのアクセスできる一方で、ステージのフットプリントは小さくコンパクトに抑えられています。
大きな凹面や凸面のAFMイメージングでは、スキャンヘッドの回転が必要となります。カンチレバーがどの表面位置に対しても同じ角度でアプローチできるようにするためです。
このシステムでは、サンプルステージの360度の手動回転、およびモーターで電動化されたXZΘステージにより、すべての位置で表面を正しく評価できます。
精密アライメントステージ：2つのゴニオメーターステージと3つの高感度力センサーが組み込まれており、スキャンヘッドに対してサンプル面を0.005度以内で自動で合わせることができます。ナノインプリントリソグラフィーを可能にするため、湿度制御やカスタムカンチレバーホルダーが開発されました。
LEE, I.-Ning, et al. JoVE (Journal of Visualized Experiments), 2018, Nr.136, S.e56967.
WANG, Shuai, et al. RSC Advances, 2015, 5. Jg., Nr. 75, S. 61402-61409
このマイクロメーターステージは、サンプル表面を倒立型顕微鏡で観察できます。なおかつ、そのステージを上下逆さまにしてそのままAFMによるイメージングができます。 逆さまにしたときにも、倒立型顕微鏡で観察したガラスのレンズ位置と同じ位置でAFM測定ができます。再位置決め精度は10μｍ以内です。
6極のコンタクトのある特殊なAFMチップを使えるカスタムカンチレバーホルダーです。 F Richheimer et al., Sensors 2018, 18(7), 2049; https://doi.org/10.3390/s18072049
この電動XYZステージは、大型のサンプルにアクセスするためのもので、その可動域は長辺では1.5mを越えています。 エアベアリング機構を採用することによって、高い負荷・高い精度・低いノイズレベルをすべて兼ね備えています。 パッシブ防振を採用し、エンコーダを省略し、コストを抑えた設計となっています。
Gwyddionは、SPM解析に用いられるポピュラーなツールです。使い方は、以下の資料をご覧ください。
大型サンプル用カスタムAFM-Motorized heavy-duty XYZ translation stage
大学や専門学校におけるナノテクノロジー教育や、研究開発または品質管理の現場で、表面形状を短時間に簡潔に測定したいユーザーに最適な装置です。
極限まで小さな世界、原子像を可視化できる走査型トンネル顕微鏡（STM)は、1981年にスイスのIBM研究センターでBinnigとRohrerによって開発されました。
CoreAFMは、あらゆる測定が可能かつ簡便な操作を両立させるために、必要なコア要素をコンパクトに集約しました。
Nanosurfの新しいフラッグシップ装置であるDriveAFMは、最新の技術を駆使し、高い安定性と性能を実現しています。
アクティブ防振台IsoStageは、装置へ伝わる振動をピエゾセンサで検知し、6自由度（3軸）のアクチュエータで天板を駆動して動きをキャンセルして制震します。
Nanosurfは、大型で重量のあるサンプル用のカスタム開発システムのマーケットリーダーです。
LensAFMは、光学顕微鏡や形状解析顕微鏡のレボルバーにそのまま取り付けられるAFMです。まるで倍率を切り替えるように光学観察とAFM測定を行うことができます。
大きなサンプルを破壊せずにそのまま測定したり、傾きのあるサンプルに合わせて測定したい場合には、カスタムAFMによるソリューションをご提案します。
FlexAFMは、これまでのAFMの中でも最も多機能で柔軟なシステムで、用意にさまざまなアプリケーションを可能にします。
FlexAFMは、これまでのAFMの中でも最も多機能で柔軟なシステムで、用意にさまざまなアプリケーションを可能にします。
業界標準のMountains®技術のインタラクティブ性をそのままに、SPIP™（Image Metrology）が誇るすべての分析ツールを引き継いでいます。
業界標準のMountains®技術のインタラクティブ性をそのままに、SPIP™（Image Metrology）が誇るすべての分析ツールを引き継いでいます。
カンチレバーの反りを電気的に直接測定することができるマイクロカンチレバーです。
AFMプローブとサンプル間の摩擦力を高精度MEMS力学センサによってダイレクトに測定します。
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