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カスタムAFMシステム

AFM測定を行う必要があるが、サンプルが大きく特別な取り扱いが必要だったり、従来の技術や方法とは異なる実験が必要ではありませんか?
私たちはお客様のニーズを真摯に受け止め、お客様と一緒に解決策を考えます。
当社の装置開発チームは、お客様との密接な協力と継続的な対話の中で、お客様の正確なニーズに合わせたシステムを設計・構築します。
お客様のニーズを最初にお聞かせいただければ、プロジェクトの詳細についてご連絡いたします。

■キーワード
✓シリコンウェハー
✓大型サンプル
✓光学レンズ
✓自動ステージ
✓特殊ステージ

メーカー

Nanosurf

カテゴリ

マテリアルサイエンス

カスタムAFMシステムが完成するまでのフロー

最適なAFMヘッドユニットを選択


【シンプル】

標準のFlex-Mountのためのシンプルで経済的な設計です。
シンプルですが、このXYZステージは非常に堅牢・安定で、さらに市販AFMのステージよりもかなり大きなサンプルの測定が可能となっています。マニュアルXYステージは着脱可能で、プラットフォーム全体を自由に活用できます。

【クリーン】

巨大なガラスサンプルの品質管理のために設計されました。このカスタムステージで稼働するすべての駆動部分がサンプルより下に配置され、サンプルがパーティクルなどに汚染されない設計となっています。
AFMスキャンヘッドを固定する位置を2箇所にする工夫により、サンプルのアクセスできる一方で、ステージのフットプリントは小さくコンパクトに抑えられています。

【湾曲した表面】

大きな凹面や凸面のAFMイメージングでは、スキャンヘッドの回転が必要となります。カンチレバーがどの表面位置に対しても同じ角度でアプローチできるようにするためです。
このシステムでは、サンプルステージの360度の手動回転、およびモーターで電動化されたXZΘステージにより、すべての位置で表面を正しく評価できます。

【レベリング】

精密アライメントステージ:2つのゴニオメーターステージと3つの高感度力センサーが組み込まれており、スキャンヘッドに対してサンプル面を0.005度以内で自動で合わせることができます。ナノインプリントリソグラフィーを可能にするため、湿度制御やカスタムカンチレバーホルダーが開発されました。

LEE, I.-Ning, et al. JoVE (Journal of Visualized Experiments), 2018, Nr.136, S.e56967.
WANG, Shuai, et al. RSC Advances, 2015, 5. Jg., Nr. 75, S. 61402-61409

【ハンドリング】

このマイクロメーターステージは、サンプル表面を倒立型顕微鏡で観察できます。なおかつ、そのステージを上下逆さまにしてそのままAFMによるイメージングができます。 逆さまにしたときにも、倒立型顕微鏡で観察したガラスのレンズ位置と同じ位置でAFM測定ができます。再位置決め精度は10μm以内です。

【特殊カンチレバー】

6極のコンタクトのある特殊なAFMチップを使えるカスタムカンチレバーホルダーです。 F Richheimer et al., Sensors 2018, 18(7), 2049; https://doi.org/10.3390/s18072049

【大型サンプル】

この電動XYZステージは、大型のサンプルにアクセスするためのもので、その可動域は長辺では1.5mを越えています。 エアベアリング機構を採用することによって、高い負荷・高い精度・低いノイズレベルをすべて兼ね備えています。 パッシブ防振を採用し、エンコーダを省略し、コストを抑えた設計となっています。

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