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走査型プローブ顕微鏡 AFSEM nano

SEMとSPM(AFM,C-AFM,MFM等)をin-situで測定でき、試料を取り出すことなく、同一環境下の中での測定が可能となります。お手持ちのSEMやFIBに取付けての使用が可能です。

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AFSEM 原子間力走査型電子顕微鏡の特徴

1. SEMとAFMのin-situ測定が可能
試料の装置間の移動が不要のため、同一環境下での測定が可能です。

2. 多様な測定モード
AFM、C-AFM、MFMなどに対応しております。

3. セルフセンシング・カンチレバー
ピエゾ素子を内蔵したカンチレバーを使用しております。
カンチレバーの交換後の調整は不要です。

4. お手持ちのSEM / FIBに取り付け可能です。
※卓上型SEMなど、一部の機種には、取付できない場合がございます。対応機種については、お問い合わせください。

AFSEM nano 原子間力走査型電子顕微鏡の仕様

 

測定モード AFM(コンタクトモード、ノンコンタクトモード)、C-AFM、MFM など
スキャナー 寸法  :53mm (L) × 51mm (W) × 23mm (H)
走査範囲:x,y:25μm × 25μm、z:15µm
重量 70 g
対応真空度 10-7 mbar
ポジショニングステージ 可動範囲:x=12mm、y=12mm、z=12mm
粗分解能:x,y,z:100nm(ステップサイズ)
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