
走査型プローブ顕微鏡 AFSEM nano
SEMとSPM(AFM,C-AFM,MFM等)をin-situで測定でき、試料を取り出すことなく、同一環境下の中での測定が可能となります。お手持ちのSEMやFIBに取付けての使用が可能です。
AFSEM 原子間力走査型電子顕微鏡の特徴
AFSEM nano 原子間力走査型電子顕微鏡の仕様
測定モード | AFM(コンタクトモード、ノンコンタクトモード)、C-AFM、MFM など |
スキャナー | 寸法 :53mm (L) × 51mm (W) × 23mm (H) 走査範囲:x,y:25μm × 25μm、z:15µm |
重量 | 70 g |
対応真空度 | 10-7 mbar |
ポジショニングステージ | 可動範囲:x=12mm、y=12mm、z=12mm 粗分解能:x,y,z:100nm(ステップサイズ) |
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