赤外線加熱単結晶育成システム（IRF)
棒状に焼き固めた粉末試料を、2つのハロゲンランプと双楕円鏡で集光加熱して試料を溶解し、高純度の単結晶を育成する装置です。
物性測定
表面解析
バイオ＆ライフサイエンス
光学クライオスタット/低温物性
リソグラフィー/単結晶製造
ヘリウムリカバリー
産業分野
マスクを使わない１μｍ描画装置では最安値！
少量のパターン試作が手早く可能！
マスクレスで少量のパターンの試作を手早く可能にするML3 Baby。パターン作製時に、毎回必要なマスク作製の手間を省きます。グレースケール(3D)描画、表面トラッキングオートフォーカスを標準で付属し、ML3 Baby Plusはオートフォーカス・ウエハ検査機能、対物レンズ自動交換機能を、ML3 Mesaは0.6μm分解能を、ML3 Proはそれらに加えてビジュアルマスクアライナー機能、除振台、温度安定化装置を含みます。そして各装置から上位機種へのアップグレードも現場で可能です。
この装置は英国ケンブリッジ大学のキャヴェンディッシュ研究所のラッセル教授が開発した卓上小型(最少モデル,底部面積70cm×60cm)で、手軽に高精度で高速にパターン試作を可能にするDMD方式のマスクレス露光装置です。フォトレジストに直接露光することが可能で、既に世界市場には100台以上が納品済です。DMD方式のマスクレス露光装置の中でコストパフォーマンスに優れた装置です。
| ML3 Baby | ML3 Baby Plus | ML3 Mesa | ML3 Pro | |
| 描画分解能 | 1μm | 1μm and 5μm | 0.6μm, 1μm, 5μm, |
0.6μm, 1μm, 2μm, 5μm ( 0.4μm OPT) |
| 描画範囲 | 149x149mm | 149x149mm | 149x149mm | 195x195mm |
| 最大ウエハーサイズ | 155x155mm | 155x155mm | 155x155mm | 230x230mm |
| 対物レンズ | ×10 (×4 デジタルズーム) |
×3,×10 (×4 デジタルズーム) |
×3,×5,×20 (×4 デジタルズーム) |
×3,×5,×10,×20 (X50 OPT) (×4 デジタルズーム) |
|
描画波長（光源） （オプション） |
405nm (385,365nm OPT) |
405nm (385,365nm OPT) |
405nm (385,365nm OPT) |
385nm (365nm OPT) |
| 描画速度 | 50mm2/分＠1μm分解能 | 50mm2/分＠1μm分解能180mm2/分＠5μm分解能 | 17mm2/分＠0.6μm分解能 50mm2/分＠1μm分解能 180mm2/分＠5μm分解能 | 17mm2/分＠0.6μm分解能 50mm2/分＠1μm分解能 120mm2/分＠2μm分解能 180mm2/分＠5μm分解能 |
| モーターステージ最小ステップ(X,Y) | 15nm | 15nm | 15nm | 4nm |
| 光学表面プロファイラー分解能(Z) | 無 | 200nm | 200nm | 100nm |
| 重ね合せ精度 | ±2μm (3σ) | ±1μm (3σ) | ±1μm (3σ) | ±0.5μm (3σ) |
| 受け入れ可能 ファイルフォーマット |
CIF, GDS2, BMP, TIFF, JPEG, PNG, GIF |
CIF, GDS2, BMP, TIFF, JPEG, PNG, GIF |
CIF, GDS2, BMP, TIFF, JPEG, PNG, GIF |
CIF, GDS2, BMP, TIFF, JPEG, PNG, GIF |
描画速度は典型的なウエハーに描画される平均値です。小さなウエハーに描画する場合は遅くなります。
※デモ機をご用意しております。※ML3 Baby Plus
詳細はお問い合わせください。
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棒状に焼き固めた粉末試料を、2つのハロゲンランプと双楕円鏡で集光加熱して試料を溶解し、高純度の単結晶を育成する装置です。
ドイツALLRESIST社は最高クラスのコントラスト性能・感度を持ち合わせた最新の電子線レジスト「CSAR62」など各種電子線レジスト、フォトレジスト、リソグラフィー関連材料を開発、製造しております。
高出力レーザ（1.5kW、2kW）を用いた浮遊溶融帯方式による低融点から高融点材料の高品質単結晶を育成するシステムです。
This novel system, based on technology developed by the RIKEN CEMS (Center for Emergent Matter Science) institute in Japan, promises the opportunity to grow materials unable to be grown by more traditional floating zone methods.
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