多機能コンパクト原子間力顕微鏡 CoreAFM
CoreAFMは、あらゆる測定が可能かつ簡便な操作を両立させるために、必要なコア要素をコンパクトに集約しました。
物性測定
表面解析
バイオ＆ライフサイエンス
光学クライオスタット/低温物性
リソグラフィー/単結晶製造
ヘリウムリカバリー
産業分野
AFMとSEMの相関解析を行うことができる新しいプラットホームです。幅広いAFMの測定技術にSEMの利点を加えることで新たな研究領域を創造します。
- SEMで関心領域を特定し、AFMで同じ領域を自動的に特定する自動化機能も実現
- AFMカンチレバーの先端を観察しながら測定ができる機能プロファイルビューを搭載
- 表面特性の高品質で低ノイズの検出が可能
- 凹凸のある試料や尖った形状の試料も測定可能
- 迅速かつ簡単にサンプル交換可能
- ユーザーフレンドリーなインターフェイスを搭載
図1．カーボン層上の球状錫のSEM写真。画像の水平磁場幅は50μm
図２．高倍率顕微鏡写真から、図１の割れた錫の球のマーク面の詳細がわかる
図．コンタクトモードで得られたポリマー表面のAFM像
図１．シリコン基板上のAu電極構造のSEM像
図２．電極構造のAFMトポグラフィー像
図３．電極構造の導電率マップ
図１．異なる結晶粒界を持つBaTiO3セラミックスのSEM像
図２．BaTiO3セラミックスのAFMトポグラフィー像
図３．+1.5VバイアスによるBaTiO3セラミックのEFM位相像
図１．Pt/Co/Ta多層膜試料のAFMトポグラフィー像
図２．同領域の磁気力顕微鏡（MFM）像
図１．二相鋼のSEM像（概観）
図２．二相鋼の結晶粒界のSEM像
図３．二相鋼の結晶粒界におけるAFMトポグラフィー像
図４．強磁性相と常磁性相の構造を示す二相鋼粒界のMFM像
図１．カンチレバー先端を関心領域上に配置したCPUチップのSEM像
図２．トランジスタの特定領域の相関AFM像
図３．トランジスタの特定領域の相関SEM像
図１．カンチレバー付き自立型グラフェン膜のSEM像
図２．自立型グラフェン膜のSEM及びAFM相関像
図３．低荷重での自立型グラフェンのAFMトポグラフィー像
図４．高荷重での自立型グラフェンのAFMトポグラフィー像
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CoreAFMは、あらゆる測定が可能かつ簡便な操作を両立させるために、必要なコア要素をコンパクトに集約しました。
大学や専門学校におけるナノテクノロジー教育や、研究開発または品質管理の現場で、表面形状を短時間に簡潔に測定したいユーザーに最適な装置です。
極限まで小さな世界、原子像を可視化できる走査型トンネル顕微鏡（STM)は、1981年にスイスのIBM研究センターでBinnigとRohrerによって開発されました。
アクティブ防振台IsoStageは、装置へ伝わる振動をピエゾセンサで検知し、6自由度（3軸）のアクチュエータで天板を駆動して動きをキャンセルして制震します。
AFM測定を行う必要があるが、サンプルが大きく特別な取り扱いが必要だったり、従来の技術や方法とは異なる実験が必要ではありませんか？
大きなサンプルを破壊せずにそのまま測定したり、傾きのあるサンプルに合わせて測定したい場合には、カスタムAFMによるソリューションをご提案します。
Nanosurfは、大型で重量のあるサンプル用のカスタム開発システムのマーケットリーダーです。
FlexAFMは、これまでのAFMの中でも最も多機能で柔軟なシステムで、用意にさまざまなアプリケーションを可能にします。
LensAFMは、光学顕微鏡や形状解析顕微鏡のレボルバーにそのまま取り付けられるAFMです。まるで倍率を切り替えるように光学観察とAFM測定を行うことができます。
AFMによる高分解能の構造・機械物性情報と同時に、10nmに迫る高空間分解能で有機分子の光の反射/吸収マッピング/スペクトル測定が可能です。
業界標準のMountains®技術のインタラクティブ性をそのままに、SPIP™（Image Metrology）が誇るすべての分析ツールを引き継いでいます。
SEMとSPM（AFM,C-AFM,MFM等）をin-situで測定でき、試料を取り出すことなく、同一環境下の中での測定が可能となります。
カンチレバーの反りを電気的に直接測定することができるマイクロカンチレバーです。
AFMプローブとサンプル間の摩擦力を高精度MEMS力学センサによってダイレクトに測定します。
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