
対物レンズ型AFM – LensAFM
LensAFMは、光学顕微鏡や形状解析顕微鏡のレボルバーにそのまま取り付けられるAFMです。まるで倍率を切り替えるように光学観察とAFM測定を行うことができます。お手持ちの正立顕微鏡やレーザー顕微鏡と組み合わせて、欠陥部分を詳細にAFMで確認する、といったことが可能です。
また、高さ像に加えて、位相コントラスト、MFM、摩擦力、フォースモジュレーション、拡がり抵抗値と多様な物性のナノスケールイメージングが可能です。オプションを追加することで、ケルビンプローブフォース(KPFM)やピエゾレスポンスフォース(PFM)によるイメージングも可能です。
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対物レンズ型 LensAFM 特徴
光学系とAFM測定のシームレスな切り替え
LensAFMには8倍の対物レンズが内蔵されており、カンチレバーの位置を確認できるので、その場所の高分解能像をLensAFMで得ることができます。この例では、金属表面にコーティングを施したサンプル表面の欠陥を光学像とAFMで観察しています。得られた結果から、コーティング層に穴があり、その中にデブリが埋まっていることが明らかとなりました。このような知見をもとに、コーティング工程を改善したり、改善後の品質評価をすることができます。
対物レンズ型 LensAFM
スキャンヘッドタイプ | 110-μm | 70-μm |
最大スキャン範囲 XY/Z (※1,※2) | 110 μm/22 μm | 70 μm/14 μm |
XYリニアリティエラー | < 0.6% | < 1.2% |
Z測定ノイズレベル (RMS, Static mode)(※3) | 代表値 350pm, 最大 500pm | |
Z測定ノイズレベル (RMS, Dynamic mode)(※3) | 代表値 90pm, 最大 150pm | |
自動サンプルアプローチ | 内蔵モーターによる平行アプローチ、4.5mm | |
カンチレバーアラインメント | アラインメントチップ技術により自動調節 | |
サンプル観察(※4) | 内蔵8倍レンズ、同焦点距離 45 / 60mm | |
AFM測定の再位置決め精度 | ±10 μm (カンチレバーの交換・ スキャンヘッドの再マウント・アプローチ操作を含む) |
(1) 製造時許容値は、100-μmヘッドで±10%、70-μmヘッドで±15%
(2) AFMのスキャン方向の角度は最大45°まで
(3) 測定環境:C3000コントローラ使用/アクティブ防振台を安定なテーブル上に設置/空調なし
(4) 各種顕微鏡に適切な同焦点距離(対物レンズの胴付き面からサンプルまでの距離)に補正するアダプターを取り揃えています。
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