特徴
高純度単結晶
フローティングゾーン（FZ）方式により、不純物の混入しない純度の高い単結晶を得ることができます。
温度均一性
溶融帯を長時間安定して維持するために、ランプ・反射鏡の計上を設計しており、軸方向に最適な温度勾配ができております。
高い操作性
本体据付のタッチパネルで全ての操作が可能、リアルタイムに単結晶の育成を観察することができます。
空冷式
空冷コンプレッサー内蔵により、チラー・冷却水は一切不要です。
仕様
| 型式 | 双楕円型 | 四楕円型 | |
| ランプ | 数 | 2 | ４ |
| タイプ | ハロゲンランプ |
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| ランプ出力 | 650 W ×2個 | 800 W ×4 個 | |
| 冷却方式 | 空冷式 |
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| ランプ出力安定度 | 出力電圧変動：±0.01%（入力電圧±10%に対して） |
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| 到達温度 | 溶融帯温度 | 2100℃（φ4mm） | 2100℃（φ６mm） |
| 主軸制御 | 単結晶育成サイズ | 最大 150mm×φ6mm | 最大 150mm×φ12mm |
| 駆動方式 | 上下独立 |
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| その他 | 制御方法 | タッチパネル |
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| モニタリング | CCDカメラでのリアルタイム観察可能 |
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| 寸法 | W:800 mm × D:900 mm × H:1750 mm | W:800 mm × D:900 mm × H:1800 mm | |
| 重量 | 430 kg | 480 kg | |
| 電源 | 単相200V,20A |
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赤外線加熱単結晶育成システム オプション
プレスユニット
原料棒を成形するための油圧式プレスユニット
リモートコントロール用ノートパソコン
ノートパソコンを使用しての遠隔操作が可能となります
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