カスタムAFM-NaniteAFM
一般的なSPM装置には、サンプルの大きさやサンプルステージの可動域に制限があります。大きなサンプルを破壊せずにそのまま測定したり、傾きのあるサンプルに合わせて測定したい場合には、カスタムAFMによるソリューションをご提案します。
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ヘッドユニット
必要とされるスキャン範囲や分解能、目的に合わせてヘッドユニットを選択できます。一般的なソリューションでは、カメラを内蔵した汎用NaniteAFMヘッドユニットが適しています。より高い分解能や液中測定が必要な場合にはFlexAFMヘッドユニットを選択できます。
| AFM head | XY範囲 | Z範囲 | Zノイズ (static) | Zノイズ (dynamic) | 内蔵カメラ |
| Nanite 110 | 110 μm | 22 μm | 350 pm | 90 pm | top +side |
| Nanite 70 | 70 μm | 14 μm | 350 pm | 90 pm | top + side |
| Nanite 25 | 25 μm | 5 μm | 80 pm | 30 pm | top + side |
| Flex 100 | 100 μm | 10 μm | 100 pm | 35 pm | – |
| Flex 10 | 10 μm | 3 μm | 100 pm | 35 pm | – |
品質管理用の計測システムへのカスタムソリューション。
Nanite小型AFMヘッドモジュールにより、汎用AFMでは対応が難しい形状・大きさのサンプルへの対応をご提案可能です。
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