多機能コンパクトAFM – CoreAFM
CoreAFMは、あらゆる測定が可能かつ簡便な操作を両立させるために、必要なコア要素をコンパクトに集約しました。
・高分解能、低ノイズな新コントローラとヘッドスキャナ
・液中・大気中のあらゆるモードを使用可能
・コンパクトな筐体にアクティブ防振機構を内蔵
・ステージ交換だけで電気化学測定や環境制御などに対応
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多機能コンパクトAFM - CoreAFM特徴
最新のフレクシャスキャナ、XYZサンプルステージ、カメラ、アクティブ防振が一体となったコンパクトなAFMシステムです。このAFMシステムは低ノイズのCoreAFMヘッドを32bit FPGAを搭載したコントローラによる24ビットのDAC/ADCのフルデジタル処理で制御されます。また、測定のセットアップからソフトウェアに至るまで、AFMがはじめての方でも簡単に操作できるデザインです。
カンチレバーやホルダーの扱いが簡単
カンチレバーホルダーは、AFMヘッドユニットから簡単に着脱でき、ホルダーだけを安全に清掃したり洗浄することができます。また、AFMチップはホルダの上に載せるだけで位置があうAlignment grooveを採用していますので、毎回μｍレベルで同じ位置に置くことができます。同じ種類のカンチレバーであればレーザー合わせも不要です。
さまざまな測定に対応できるサンプルホルダー
CoreAFMにはスキャナ、防振台、トップビュー/サイドビューカメラが内蔵されており、それ以外に必要なものはありません。そのうえで測定の拡張性が可能なデザインになっていますので、サンプルステージだけを交換して温度調整/電気化学測定/CAFM/加熱などさまざまな測定が可能です。また、これらのサンプルステージ部分のデザインコンセプトは一貫しているので、新しい測定方法に必要なステージのカスタマイズにも対応できます。
２つの視点からカンチレバーの位置合わせができる光学系
ヘッドユニット上部にカメラが内蔵されており、２つの光学系を切り替えて観察できます。上方からのトップビュー、側方からのサイドビューの光学像が大気中・液中で得られます。カンチレバーとサンプルを容易に観察することができるので、すぐに目的の位置に合わせることができます。
Spike Guard - 突発的なノイズ対策に
多機能コンパクトAFM - CoreAFM
ヘッドユニット
| XYスキャナ | フレクシャXYスキャナ (100 µm x 100 µm)、クローズドループ | |
| Zスキャナ | ピエゾスキャナ (12 µm), クローズドループ | |
| 光てこ用レーザー | レーザーダイオード, 650 nm | |
| カンチレバーホルダ | ヘッドユニットから完全に着脱可能なホルダ。Alignment grooveに対応（溝無しホルダーも選択可能） | |
| 検出器ノイズ (RMS) | 60pm (typical) | 100pm (max) |
| センサーノイズ (Z, RMS) | 180pm (typical) | 250 pm(max) |
| ダイナミックノイズ (Z, RMS) | 40pm (typical) | 70pm (max) |
| スタティックノイズ (Z, RMS) | 100pm (typical) | 200pm (max) |
コントローラー
| スキャナ制御 | 24-bit ADC/DAC | 200 kHz |
| デジタルロックイン (2x) | 16-bit ADC/DAC | 20MHz |
| ユーザーIN/OUT、励振IN | 24-bit ADC/DAC | 5MHz, 10V |
| デジタル出力 | 2bit line/frame sync out | 5V, TTL |
| サーマルチューニング | 10Hz – 2MHz | |
| FPGA | 32bit FPGA, 256MB | インターフェース：USB 2.0 |
サンプルステージ
| ホルダー | サンプルや測定モードに合わせて交換可能なホルダー |
| 光学系 | 液中・大気中のサンプルのトップビュー/サイドビューを切替可能。 *1 オプションで下方から透過/蛍光像の取得も可能。 |
| カメラ | 5MPカラーCCD |
| 光学照明 | ソフトウェアから調光可能な白色LED |
| サンプルステージ | 手動XYマイクロメーターステージ(20mm x 20mm)、自動Zモーターステージ(5mm) *2 |
| サンプルアプローチ | Zステージによる自動アプローチ（連続モーターモードとピエゾ＋モーターステップモード） |
| サンプルサイズ | サンプルサイズ |
標準付属品
| 防振台 | アクティブ防振台を筐体内に内蔵 |
| 測定モード | コンタクトモード、ダイナミックモード、位相イメージングモード、液中イメージング、フォースモジュレーション、標準MFM、標準フォースカーブ、標準リソグラフィー |
| モードキット*4 | Static forceキット、Dynamic forceキット、Phase imagingキット |
| サンプルホルダー | 標準サンプルホルダー |
その他仕様
| システム要件 | Windows 7以降 (32bit/64tbit両対応)、USB 2.0端子 x 2以上 |
| 重量 / 寸法 | 30.5 kg / 350x395x242mm |
| 電源 | 100-240VAC, 50/60Hz, 50W |
