
原子間力走査型電子顕微鏡 AFSEM
SEMとSPM(AFM,C-AFM,MFM等)をin-situで測定でき、試料を取り出すことなく、同一環境下の中での測定が可能となります。お手持ちのSEMやFIBに取付けての使用が可能です。
AFSEM 原子間力走査型電子顕微鏡の特徴
AFSEM 原子間力走査型電子顕微鏡の仕様
測定モード | AFM(コンタクトモード、ノンコンタクトモード)、C-AFM、MFM など |
スキャナー | 寸法 :110mm (L) × 77mm (W) × 41mm (H) 走査範囲:x,y:35μm × 35μm、z:5µm |
ポジショニングステージ | 可動範囲:x=±4mm、y=±4mm、z=25mm 粗分解能:x,y,z:50nm(ステップサイズ) |
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