アクティブ防振台 IsoStage

製品情報

アクティブ防振台 IsoStage

AFMやSTMは、高感度であるがゆえにナノメートル以下の振動もノイズとして拾ってしまいます。このような振動が問題となる測定には、アクティブ防振台が必要となります。

アクティブ防振台IsoStageは、装置へ伝わる振動をピエゾセンサで検知し、6自由度（3軸）のアクチュエータで天板を駆動して動きをキャンセルして制震します。低周波の振動を1Hzから低減することができ、5Hzでは93%(23db)、15Hzでは99.0％(40db)の振動をキャンセルすることができます。パッシブ型の防振台では困難な低周波数帯でのノイズを効果的に低減することが可能となります。

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最高レベルの防振性能

アクティブ防振による高速減衰（青：アクティブ、赤：パッシブ）

低周波数帯での優れた防振能力

Spike Guard - 突発的なノイズ対策に

アクティブ防振台は、突発的な大きな振動を完全にキャンセルできません。たとえば、ヘッドユニットに触ってしまったり、テーブル上に衝撃が加わると、Z位置などのシグナルにスパイクノイズが入ります。Spike Guard機能は、このような不可避なノイズを拾ったことをAFMコントローラが検知すると、そのラインだけを再度スキャンしてくれる機能です。これにより、スキャンを最初からやり直したり、上下のラインの平均値で埋める必要がなくなるので、測定時間の短縮やイメージング品質を向上することができます。

お手持ちのAFMがノイズに悩まされていませんか？

IsoStageはコンパクトなNanoSurf社製品に対応しています。また、他社製AFMでも適合するサイズや重量であればご利用可能です。
AFM像に縦や斜めのストライプが入っていませんか？それは固体振動による低周波ノイズですので、アクティブ防振台で抑え込むことができます。

お手持ちのAFMをIsoStageに載せることができるか、お気軽にご相談下さい。

防振周波数帯	1.0 – 200Hz (200Hzはパッシブ防振)
最大補正力	垂直方向：±8 N / 水平方向： ±4 N
最大補償能	55 μm/s (2 Hz, 8kg) / 350 μm/s (6 Hz, 8kg)
負荷重量	2-12 kg (IsoStage-300L) / 10-20 kg (IsoStage-300H)
制震時間	300ms
駆動変位	1 mm
重量 (本体/コントローラ)	9 kg / 2.5 kg
寸法 (本体/コントローラ)	300x300x85 mm / 204x204x90 mm
使用環境	16-40℃ / RH 0-60%
電源/消費電力	100-250 VAC (47-63Hz) / 50 VA(代表値)